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先進(jìn)光顯

韞茂自主研發(fā)的批次式 Thermal ALD 及 PEALD，可應(yīng)用于 Mini/Micro LED、先進(jìn)光學(xué)、AR/VR 等前沿領(lǐng)域。

半導(dǎo)體

韞茂碳化硅外延 CVD 設(shè)備、金剛石 MPCVD 設(shè)備、PECVD，分別服務(wù)于第三代、第四代以及硅基集成電路半導(dǎo)體市場，通過定制化設(shè)備解決方案加速新一代半導(dǎo)體材料及器件的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

新能源

韞茂工業(yè)化粉末 ALD、CVD 實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，其創(chuàng)新工藝已應(yīng)用于鋰電池等新能源行業(yè)。

前沿器件應(yīng)用

韞茂超高真空設(shè)備平臺(tái)，包括物理氣相沉積設(shè)備和原子層沉積設(shè)備。