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GM的應用領域主要有哪些
鋰電領域：用于提升電池性能，改善電極材料性能；催化領域：制備高效催化劑，優化催化劑性能；金屬粉末處理領域：改善粉末流動性，提高防潮 / 抗氧化性，改善燒結界面；新材料開發領域：納米材料表面修飾，制備新型薄膜材料；制藥領域：改善粉末性能，實現藥劑緩釋
QBT-A可以做哪些工藝？
TiN、SiN、AlN、NbN等氮化物、SiO2、Al2O3、HfO2、TiO2等氧化物、Mo、Cu
QBT-A可以做多大尺寸的wafer？
8寸及以下
QBT-A的氮化物薄膜含氧量可以做到多低？
配備分子泵，極限真空達5E-8torr以下，并配備氣體純化器，氮化物薄膜的氧量≤0.5%
QBT-A的PE-TiN常溫電阻率可以做到多低？
30nm?PE-TiN常溫電阻率≤70μΩ-cm
