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韞茂科技自主研發(fā)的【MINI】是一款緊湊型高端桌式熱原子層沉積系統(tǒng)，最適合實驗室使用，功能強大，操作簡單，可以在4/6寸晶圓和微納米粉體上實現(xiàn)均勻可控的原子層沉積。

MINI包含流動法及動靜態(tài)法，可實現(xiàn)高深寬比結構均勻鍍膜、薄膜疊層工藝，能夠精確控制元素比例。

1、占地面積小，最適合實驗室，可放置于桌面操作

2、全自動化人機界面，維護簡單

3、具有極佳的工藝重復性，可精準控制不同元素比例的原子層沉積

4、可沉積各類氧化物薄膜/粉末，可實現(xiàn)不同薄膜的疊層工藝

1、沉積溫度：室溫至360℃

2、重量：約70kg

3、毫秒級響應；樣品裝載4/6 inch

4、極限真空：≤50 mTorr

工藝展示：

半導體、傳感器、光學、鈣鈦礦、鋰電池、納米材料、催化劑、電鏡樣品（透明導電、high-k、氧化物、金屬、 氮化物等）

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