工業型設備
研發型設備
ALD
Plasma Batch ALD
PBATCH 批次等離子體ALD
Thermal Batch ALD
CBATCH 100s 批次熱ALD
CBATCH 300s 批次熱ALD
12 inch ALD
QBT-A 300 CLUSTER 高真空等離子體 ALD 集群系統
CVD
MPCVD 金剛石CVD
Epitaxy
SICE-Y8 碳化硅外延CVD系統
Powder ALD/CVD
KG 工業級粉末ALD
SCA 工業級粉末CVD
PVD
QBT-J 300 超高真空互聯多腔體互聯約瑟夫森結制造系統
Single Wafer ALD
QBT-ADS 雙腔高真空雙面鍍膜PEALD設備
QBT-A 雙腔室高真空等離子體ALD
MINI 科研型桌式ALD
Sputter
單陰極垂直濺射系列
PVD100 雙腔室高真空磁控濺射系統
QBT-P 雙腔室超高真空磁控濺射系統
QBT-P L3 三腔室超高真空磁控濺射系統
多陰極垂直濺射系列
QBT-MPV 雙腔室多靶槍公轉超高真空磁控濺射系統
多陰極共聚焦濺射系列
QBT-MPC 2000 雙腔室多靶槍共聚焦超高真空磁控濺射鍍膜系統
QBT-MPC 雙腔室多靶槍共聚焦超高真空磁控濺射系統
定制系列(MP L)
QBT-MP·L3 多腔室超高真空磁控濺射系統
Evaporator
QBT-J 四腔室雙傾角超高真空鍍膜系統
QBT-E 雙腔室超高真空電子束蒸發鍍膜系統
QBT-I 雙腔室高速鍍膜系統
Powder ALD
GM 研發型粉末ALD
QBT-T 雙腔室等離子體硅片及粉末ALD
新聞
NEWS
賦新能 · 向未來 | 韞茂科技2025年度報告
2025-12-31
2025諾獎啟示 | 韞茂科技持續深耕前沿設備領域
2025-10-11
超超低含氧量(<0.5%)氮化物!HV-PEALD高質量薄膜沉積
2025-09-19
元啟新程,業興人和 | 韞茂科技祝您元旦快樂
2026-01-01
在最長的夜晚里,韞茂科技祝您冬至安康!
2025-12-21
金秋佳節 | 韞茂科技祝您中秋快樂!
2025-10-06
國興家夢 | 韞茂科技祝您闔家幸福,萬事勝意
2025-10-01
CIOE2025 | 韞茂科技與您相約中國光博會
2025-08-28