QBT-A 300 CLUSTER 高真空等離子體 ALD 集群系統
QBT-A300 Cluster 作為QBT-A系列升級產品，兼顧研發與量產雙重需求,全面延續其成熟穩定的工藝性能，支持熱法、PE兩種模式，始終保持低氧含量薄膜沉積的核心優勢。核心升級兩大關鍵配置：一是引入超高真空傳輸平臺，優化樣品傳輸真空環境，隔離污染、降低雜質含量，強化氧雜質抑制，為高端薄膜制備提供可靠保障；二是搭載2 foup的Efem（前端模塊）系統，大幅提升傳輸效率與自動化水平，實現多批次樣品高效流轉，適配中試及量產需求。
