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Evaporator 相關產品
QBT-J 四腔室雙傾角超高真空鍍膜系統
采用線性級聯技術，集成了進樣/預處理、離子銑、蒸發以及氧化四個腔室。整套系統全自動運行，操作簡單，易于維護，并且采用抓取傳送方式，減少了顆粒物的產生。基于QBT-J系列，客戶可研發出高質量的超導器件，在諸多領域有廣泛的應用前景。
QBT-E 雙腔室超高真空電子束蒸發鍍膜系統
標準化的鍍膜系統，包含兩個腔體：進樣腔（預處理）和蒸發腔。超高真空環境可以實現高質量的薄膜沉積：金屬、介電材料、光學薄膜、磁性薄膜等。樣品操作包括傾斜和旋轉，或Z軸移動和旋轉，從而能夠制備三維結構。
QBT-I 雙腔室高速鍍膜系統
QBT-I 是一款用于高速蒸鍍銦柱的熱蒸發系統。由于銦熔點較低，需要在低溫下沉積，因此該系統配備深冷，可將樣品冷卻至-70℃，以此保證銦柱表面的光滑，并且配備快速晶振更換模塊，可實現銦的連續沉積。此系統為倒裝芯片工藝和 3D 堆疊芯片技術提供了解決方案。
