SCA 工業級粉末CVD
產品概況
進行硅沉積/碳包覆，可實現高沉積均勻性與高包覆完整性，具備優異的批次穩定性與重復性
技術優勢
·3EM半導體級別安全管控進行流化床硅沉積/碳包覆
·可實現高沉積均與性與高包覆完整性進行流化床多孔碳物理活化
·大度提高產能有效降低生產成本優異的批次穩定性與重復性
·可實現批量化大產能均勻的造孔有效裝料容積達300-1800L
·樣品最大裝載量：25-100KG 多孔碳（可根據需求定制）
·可通入氣源：SiH4,C2H2,N2,NH3,H2O,O2等
應用領域
FAQ
SCA的溫度均勻性如何？
采用多溫區控制設計，可優化溫度均勻性，溫區控溫誤差小于1度。
硅碳負極生產的均勻性如何？
優化分布板設計，可有效減小氣泡尺寸，增大氣固反應效率，確保硅碳沉積均勻性
SCA的使用安全性如何？
設備設計基于半導體級設計標準以及防爆設計標準，設備自動化程度高，可最大限度保證設備安全運行。
