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關于韞茂

關于韞茂榮譽資質發展歷程
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PBATCH 批次等離子體ALD

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QBT-A 300 CLUSTER 高真空等離子體 ALD 集群系統

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QBT-T 雙腔室等離子體硅片及粉末ALD

韞茂科技產品概況

用于微納加工，粉末或極片包覆。

韞茂科技技術優勢

腔體:雙腔體設計（1個硅片PEALD腔室，1個粉末ALD腔室），每個腔體獨立控制，雙倍產出

等離子體:最大3kW RF自匹配電源

最大基板尺寸:Ф150mm (可定制）

高精準樣品加熱控制:RT-300±1oC

臭氧發生器:可選配，生產效率15g/h

人機界面:全自動化人機操作界面

前驅體:最大可包括3組等離子體反應氣體 5組液態或固態反應前驅體

產品分類

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科研應用代表論文

Constructing a High-Energy and Durable Single-Crystal NCM811 Cathode for All-Solid-State Batteries by a Surface Engineering Strategy

關鍵詞：LiNi0.8Co0.1Mn0.1O2, high-nickel cathode, all-solid-state battery, atomic layer deposition, lithium niobium oxides

日期：25 August,2021

Simultaneous Enhancement of Interfacial Stability and Kinetics of Single-Crystal LiNi0.6Mn0.2Co0.2O2 through Optimized Surface Coating and Doping

關鍵詞：Simultaneous Enhancement of Interfacial Stability and Kinetics of Single-Crystal LiNi0.6Mn0.2Co0.2O2 through Optimized Surface Coating and Doping

日期：25 November,2020

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