MINI 科研型桌式ALD
產品概況
MINI是一款尺寸超小、操作簡單、功能強大的桌面式ALD系統，它可以在4寸晶圓和微納米粉體上實現均勻可控的原子層沉積，是先進能源材料、新型納米材料研究與應用的最佳研發工具。
技術優勢
外形尺寸(L x W x H)：550 x 470 x 470 (mm)
重量：50kg
電源：220VAC 50HZ 額定功率：1.5kW/7A，峰值功率：2.2kW/10A
樣品尺寸：最大支持6英寸晶圓，兼容碎片；樣品高度≤3mm
極限真空：≤50 mTorr
工藝溫度：室溫至360℃
前驅體溫度：最高溫度180℃
