GM 研發(fā)型粉末ALD
產(chǎn)品概況
GM系列自動(dòng)粉末原子層沉積設(shè)備可以在微納米粉體上實(shí)現(xiàn)均勻可控的原子層沉積或分子層沉積生長。該系統(tǒng)具有專利粉末樣品桶、動(dòng)態(tài)粉末流化機(jī)構(gòu)、全自動(dòng)溫度控制、ALD前驅(qū)體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級(jí)安全控制等設(shè)計(jì)選項(xiàng),是先進(jìn)能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具。
技術(shù)優(yōu)勢
良好的均勻性與批次穩(wěn)定性<3%
前驅(qū)體最大可包括2組反應(yīng)氣體,5組液態(tài)或固態(tài)反應(yīng)前驅(qū)體
可實(shí)現(xiàn)高達(dá)100ml/1000ml粉末原子層沉積包覆
包覆材料品質(zhì)優(yōu)異,材料成分可實(shí)現(xiàn)原子層級(jí)別單相或多相設(shè)計(jì)